Представлены глобальные списки спектральных линий для тетрафторида кремния
14 ноября 2025 г.
Международный коллектив ученых представил комплексные глобальные списки спектральных линий для тетрафторида кремния (SiF4) – соединения, играющего значительную роль в технологических процессах и обладающего перспективами применения в материаловедении. Работа опубликована в Molecules.
Представляя собой газ с высокой термической стабильностью, SiF4 является экологическим загрязнителем, массово образующимся в микроэлектронике при травлении кремнийсодержащих материалов. В то же время он может рассматриваться как ключевой прекурсор для синтеза изотопно чистых полупроводников, что делает детальное изучение его свойств крайне актуальным.
В своей работе исследователи из Института оптики атмосферы им. В. Е. Зуева СО РАН (Томск) и Группы молекулярной спектрометрии (Реймс, Франция) опирались на современные методы квантовой химии и расчеты, учитывающие движение ядер. Чтобы верифицировать созданные модели, были проведены сравнения с эталонными экспериментальными данными Тихоокеанской северо-западной национальной лаборатории (PNNL), показавшие высокую степень соответствия.
Результаты исследования закладывают фундамент для разработки методов мониторинга SiF4 в окружающей среде и создания новых типов полупроводниковых материалов.
Источник: ИОА СО РАН.
Метки: СО РАН, ИОА СО РАН